有半導(dǎo)體行業(yè)的朋友經(jīng)常會(huì)有這樣的疑問(wèn)，高溫?zé)o氧烤箱的腔體是一個(gè)密閉的環(huán)境，那么當(dāng)惰性氣體（如氮?dú)猓?/span>充入一定量時(shí)，可以停止充入嗎？
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我們的腔體確實(shí)是一個(gè)密閉的工作室，但是高溫?zé)o氧烤箱畢竟不是真空烤箱，會(huì)存在一定的漏氣，而且內(nèi)部要形成熱風(fēng)循環(huán)，同時(shí)要保證氧含量低于某個(gè)數(shù)值（一般都是很小），這時(shí)就必須要一直充入惰性氣體，以保證氧含量能夠維持平衡，一旦停止充入惰性氣體，就會(huì)造成氧含量超標(biāo)，使產(chǎn)品氧化。